Исследование использования микроэлектромеханических систем
В этой статье микроэлектромеханическая система (МЭМС) использовалась для изготовления миниатюрной ионной оптики, необходимой для изготовления портативного масс-спектрометра «все в одном». Четыре различных компонента ионной оптики были изготовлены с использованием глубокореактивного ионного травления (DRIE) n-легированного кремния на изоляторе. Этими компонентами являются затвор Брэдбери-Нильсена 1 мм, коаксиальная кольцевая ионная ловушка 500 мкм (CRITter), отражательная оптика и линза
27.06.2020